廣州大川儀器儀表成功研制出小型氣體流量計

德川儀器儀表：大川儀器儀表已研制出適用于空氣、氫氣、氦氣、天然氣等各種氣體的小型、高精度氣體流量計。，并在混合動力汽車和燃料電池電動汽車（MEMS）研討會和展覽會上展出。為了提高燃料電池汽車的動力性和效率，需要對燃料電池的空氣和氫氣流量進行控制。流量計可用于此控制，以測量空氣和氫氣的流量。

如

所示的氣體流量計非常小，傳感器部分的外形尺寸為2×2×0.4mm。在硅片上，采用MEMS技術形成齒形加熱器，通過不同金屬的組合形成壓電效應形成溫度傳感器。溫度傳感器位于中間加熱器的上、下、左、右位置。通過檢測晶片上溫度分布的變化，可以計算出氣體流量。除了檢測流速外，流量計還可用于了解氣體流向，盡管目前的設備已將流速限制在一個方向。

可以支持多種氣體，因為它可以根據氣體類型修改流量和溫度分布之間的關系。在四個溫度傳感器中，有兩個用于校正。精度方面，***小值與***大值之比為1:1000時，精度為±5%；當比值為1:100時，精度為±2%。傳感器部分的功耗只有幾兆瓦，可用功率為